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當前位置：首頁產品中心流量計氣體質量流量控制器MFC300-03D氣體質量流量控制器

氣體質量流量控制器
產品簡介

MFC300-03D 氣體質量流量控制器采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

產品型號：MFC300-03D
更新時間：2026-02-06
廠商性質：生產廠家
訪問量：1009
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MFC300-03D 氣體質量流量控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

氣體質量流量控制器
MFC300-03D 氣體質量流量控制器工作原理


產品特點

超快響應：5ms 測量響應，300ms控制響應

高重復性，寬量程比

更小體積，安裝方便

無需預熱，使用便捷

分階流量控制軟件，靈活配置


主要參數
  • 介質要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
  • 量程
    0-5，10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，3，4，5 slpm
  • 測量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. （1:500）
  • 準確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
  • 傳感器響應時間
    5ms
  • 控制響應時間
    300ms
  • 預熱時間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉式
  • 泄漏率
    1*10-11Pa.m3/sec He



機械特性
  • 最大工作壓力
    1.1 MPa（11bar）
  • 工作壓差范圍
    0-1 MPa
  • 工作溫度范圍
    0-65℃（環境和氣體）
  • 溫度范圍
    0 - 98%無凝露
  • 氣路接頭類型
    快插、快擰、卡套、VCR（可選）
  • 氣體接觸材質
    氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
  • 密封材質
    氟橡膠 FKM
  • 防護等級
    IP40
  • 安裝方式
    任意方向安裝
  • 固定孔
    M4 ↓ 5mm
  • 重量
    0.38kg



電氣和通訊
  • 電氣連接接口類型
    DB-9 male
  • 輸入輸出阻抗
    輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<600Ω
  • 數字信號
    Modbus RTU（RS232，RS485），CAN
  • 量程
    0-2，10，20，30，100，300，500sccm
    0-1，2，5，10，20，30slpm
  • 通信速率
    9600（默認），14400，19200，38400 bps（用戶可修改）
  • 電源
    15-40 VDC，100 mA



特征
  • 標況
    20℃，1 atm
  • 氣體選擇
    可選，具體參考說明書氣體系數
  • 軟件
    Aitoly分階流量軟件



尺寸
滿量程高款深度ABCDE重量
5 sccm~5 slpm66.20 mm51.00 mm39.00 mm43.70 mm27.40 mm4.30 mm5.80 mmM4 ↓ 5 mm≈0.38 kg
2.606 in2.008 in1.535 in1.720 in1.079 in0.169 in0.228 inM4 ↓ 0.197 in≈0.84 lb



氣體質量流量控制器
產品選型
氣體質量流量控制器




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