蘇州愛拓利是國內極少數能夠自主研發(fā)生產高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企業(yè)。其產品的核心部件毛細管柱式傳感器和高精度微型氣體比例閥均已實現國產化、自研自制率100%、全制程自主可控，其性能趕超進口同類產品。愛拓利目前已為多家重點大學實驗室、科研院所、精密分析儀器廠家、生物制藥廠家及、環(huán)保設備及光電設備廠商提供流量計/控制器的軟硬件配套產品。通過廣泛的應用，愛拓利流量計產品的*性、重復性和穩(wěn)定性得到了充分的驗證。愛拓利的愿景是成為一家在流體測控領域具有影響力的創(chuàng)新型企業(yè)。我們專注于擁有自主知識產權、純國產化的核心零部件的開發(fā)，以期打破進口產品的技術壟斷，擺脫對進口品牌的依賴，大力提升*制程和科學儀器中國產化替代水平和應用規(guī)模，致力于早日打造出高品質且性能可靠的流體測控產品，為解決我國基礎科學及*制程領域所面臨的“卡脖子"困境貢獻一份綿薄之力。

MFC350 系列為全新升級的毛細管熱式氣體質里流量計/控制器。

產品特點

精度：0.5 % F.S.

測量范圍：0.5%~100% F.S.

控制范圍：1%~100% F.S.

工作壓差范圍：0-1 MPa

≤1s 快速響應

90+種氣體適用

量程：2 sccm-200slm

通訊方式: 模擬量，RS485, RS232, CAN, EtherCat

主要參數

介質要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  130+ Available for 130+types of gas

量程  0-1, 5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm

0-1, 2, 3, 4, 200 slpm

控制范圍  1%F.S-100%F.S.（1:100）

準確度  0.2% F.S

重復精度  0.05% F.S

線性度  0.1%F.S

控制響應時間  100ms

預熱時間  0s

閥門  常閉

泄漏率  1*10-10 Pa*m3/s He (氟橡膠密封)

1*10-11 Pa*m3/s He（全金屬密封）

分辨率  0.001sccm