微小熱式氣體質量流量控制器是一家質量流量計和控制器專業研發制造商，專注于微小氣體流量精準測控。

愛拓利擁有自主知識產權的質量流量計和控制器產品，其核心部件毛細管柱式流量傳感器、層流差壓式流量傳感器、高精度微型比例閥等已實現100%自主研制，核心生產設備100%自主研制、全制程自主可控。

公司具備ISO9001質量管理和制造認證，通過標準化生產、規范化管理，愛拓利持續穩定地為客戶提供高質量的合格產品；并根據客戶應用場景提供定制化的產品和解決方案，滿足多種需求。

產品系列：

熱式氣體質量流量計/控制器，層流差壓式氣體質量流量計/控制器

產品應用領域

半導體，光伏，光纖，FPD，真空鍍膜，新能源電池，分析儀器，生物制藥，制配氣、化工、食品、工業自動化等領域

氣體種類：90+種氣體可選

測量范圍：0.5%F.S. – 1 00% F.S. (1:200)

控制范圍;：1%F.S. – 1 00% F.S. (1:100)

準確度：     0.5% F.S.

工作壓差：0-1 MPa

耐壓：3 MPa

控制響應時間<1 s

閥門類型:常閉閥

預熱時間：5 min（T95)

量程范圍：0-2 sccm…200slpm

顯示屏：內置/外接顯示屏可選

標況:20℃（可設置）， 1atm

通訊方式：0-5Vdc, 4-20mA, RS485, RS232, CAN, EtherCat