化學反應氣體控制：在一些特殊的元素分析方法中，會涉及到化學反應氣體。例如，在化學發光氮測定儀中，用于分析樣品中的總氮含量時，需要通過 MFC 控制氧氣的流量。氧氣與樣品中的氮化合物反應產生化學發光信號，MFC 精確控制氧氣流量可以調節反應的速率和程度，從而準確地測量氮元素的含量。一般來說，MFC 可以將氧氣流量控制在 50 - 150 mL/min，確保化學反應在合適的條件下進行。